(1)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(2)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(3)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(4)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(5)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(6)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(7)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(8)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(9)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
(10)【◆题库问题◆】:[问答题] 试述离子束加工的基本原理,特点和主要应用?
【◆参考答案◆】:
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工
离子束加工的基本原理:
离子束加工是在真空条件下,先由电子枪产生电子束,再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中,使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤,最后射入工件表面
离子束工主要特点如下:
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用:1.刻蚀加工;2.镀膜加工;3.离子注入加工